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• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2002 [1]
• 1996 [1]
• 1993 [2]

学科主题

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 方娜 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  　微纳米光学  　三维模斑转换器  　微机械加工工艺  　二维光子晶体　   硅光栅技术 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15 作者:  刘剑 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/03/11 硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922   学科间高度交叉融合是21世纪科技发展的特征 期刊论文  OAI收割 群言, 1996, 期号: 8, 页码: 5--7 作者:  冼鼎昌 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/12/07 科技发展  双螺旋结构  微机械加工  同步辐射  电铸成型  DNA  光刻胶  光刻工艺  减除法  结构分析   微型机械研究的现状及展望 期刊论文  OAI收割 科技导报, 1993, 期号: 12, 页码: 42-45 王立鼎; 崔天宏; 吕琼莹 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 微型机械:9285  加速度传感器:1783  微机械:1473  微型泵:1396  微型阀:1176  致动器:1089  特种加工工艺:1083  研制成功:974  微型机器人:961  微型机械电子系统:919   光敏微晶玻璃在微机械加工中的应用基础研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1993 郑宜波 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2012/03/06 微晶玻璃  加工工艺  微机械加工  微齿轮