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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2012 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 全方位抗过载的压阻式三轴加速度计 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 11, 页码: 87-90 王军诚; 吴艳红; 孙科; 杨恒; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2013/02/22 压阻式  三轴集成加速度计  绝缘体上硅  抗过载   微机械陀螺结构形状自组织优化方法 期刊论文  OAI收割 机械工程学报, 2007, 期号: 07 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  三轴加速度计  压阻  高g  塑封