机构

• 沈阳自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2013, 卷号: 50, 期号: 10, 页码: 635-638,661 作者:  高宏伟;  刘连庆;  张晓龙;  焦念东 收藏  |  浏览/下载：135/0  |  提交时间：2013/12/27 微流控芯片  数控雕刻机  不对称路径  微电子机械系统(MEMS)  微细加工