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轨道不平度测量与主动面控制系统研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
刘璇
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2019/03/26
轨道不平度
指向模型
主动面系统
POWERLINK
大型高指向精度反射面天线轨道不平度对指向精度的影响研究
会议论文
OAI收割
陕西西安, 2015年10月26-27日
作者:
王博
;
吴江
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2017/07/04
轨道不平度
指向精度
指向模型
射电望远镜
路面激励下机载惯导设备的隔振参数优化
期刊论文
OAI收割
计算机仿真, 2014, 期号: 2, 页码: 97-101
宋晓波
;
刘波
;
邱东海
;
贾宏光
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2015/04/17
动力学模型
路面不平度
动力学仿真
隔振器参数优化
基于不平度的快速图像彩色化方法
期刊论文
OAI收割
中国科学院研究生院学报, 2008, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 233-236
李志永
;
滕升华
;
杜坤
;
邹谋炎
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/05/19
黑白图像
彩色化
不平度
基于不平度颜色混合的图像彩色化方法
期刊论文
OAI收割
电子与信息学报, 2008, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 514-517
李志永
;
滕升华
;
杜坤
;
邹谋
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/05/19
黑白图像
彩色化
不平度
基于不平度颜色混合的图像彩色化方法
期刊论文
OAI收割
电子与信息学报, 2008, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 514-517
李志永
;
滕升华
;
杜坤
;
邹谋
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2010/05/19
黑白图像
彩色化
不平度
一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 519, 524
何乐
;
王向朝
;
马明英
收藏
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浏览/下载:1476/316
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提交时间:2009/09/18
测量
干涉测量
不平度
方镜
工件台
光刻机
measurement
interferometry
non-flatness
mirror
wafer stage
lithographic tool
一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 7, 页码: 1205, 1210
何乐
;
王向朝
;
王帆
;
施伟杰
;
马明英
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浏览/下载:710/152
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提交时间:2009/09/18
测量与计量
measurement and metrology
不平度检测
non-flatness measurement
承片台
wafer chuck
调平调焦
leveling control
最小二乘
least square method
光刻机
lithographic tool
光刻机硅片表面不平度原位检测技术
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 1975, 1979
张冬青
;
王向朝
;
施伟杰
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浏览/下载:1346/240
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提交时间:2009/09/18
硅片表面不平度
FOCAL技术
光刻机
原位检测
平面面形动态干涉仪
期刊论文
OAI收割
应用光学, 1998, 期号: 06, 页码: 10-12
作者:
黄玮
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/03/12
平面面形检测
不平度
斜入射干涉法
动态干涉仪