机构

• 上海应用物理研究所 [4]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2008 [3]
• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 二次布拉格角入射下深刻蚀亚波长光栅的简化模式分析 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  孙竹梅 收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2016/11/28 严格耦合波方法  简化模式方法  光栅分束器的归一化设计  二次布拉格角入射  深刻蚀亚波长光栅   大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2008, 期号: 10 朱伟忠; 吴衍青; 郭智; 朱效立; 马杰; 谢常青; 史沛熊; 周洪军; 霍同林; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/06/06 软X射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  衍射效率  软X射线干涉光刻   13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2008, 期号: 07 朱伟忠; 吴衍青; 陈敏; 王纳秀; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/06/06 干涉光刻  软X射线透射光栅  严格耦合波方法  复折射率  衍射效率   基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文  OAI收割 核技术, 2008, 期号: 06 朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/06/06 软X射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软X射线干涉光刻   软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005 朱伟忠 收藏  |  浏览/下载：125/0  |  提交时间：2012/04/11 软X射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  电子束光刻  衍射效率  软X射线干涉光刻