机构

• 力学研究所 [1]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2003 [1]
• 1996 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 亚微米尺寸元件的离子束刻蚀制作 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2003, 期号: 06, 页码: 653-656 作者:  曹召良;  卢振武 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 离子束刻蚀  亚微米  离子能量  束流密度  刻蚀速率  表面光洁度   深亚微米刻蚀与等离子体源 期刊论文  OAI收割 中国科学基金, 1996, 期号: 1, 页码: 31 作者:  吴汉明 收藏  |  浏览/下载：620/58  |  提交时间：2009/08/03 等离子体源  亚微米刻蚀  挑战性问题