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机构
上海微系统与信息技术... [2]
长春光学精密机械与物... [1]
微电子研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2006 [1]
2004 [1]
2003 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 150-155
作者:
李超波
;
焦斌斌
;
石莎莉
;
叶甜春
;
陈大鹏
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提交时间:2010/05/26
微机械
焦平面阵列
光力学
低压化学气相淀积
氮化硅
噪声等效温度差
在ZnO/Si衬底上ZnCdSe/ZnSe多量子阱的生长与光学特性
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2004, 期号: 03, 页码: 297-300
作者:
张振中
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/03/11
薄膜物理学
Si衬底
ZnCdSe/ZnSe量子阱
低压金属有机化学气相淀积
结核分支杆菌异烟肼耐药基因突变微通道电泳检测方法的建立
期刊论文
OAI收割
中华结核和呼吸杂志, 2003, 期号: 12
王吉
;
崔振玲
;
景奉香
;
金庆辉
;
赵建龙
;
胡忠义
;
徐元森
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提交时间:2012/01/06
高温压力传感器
SIMOX
低压化学气相淀积
电感耦合等离子体深刻蚀
采用局域注氧技术制备的新型DSOI场效应晶体管的热特性(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 期号: 02
林羲
;
何平
;
田立林
;
李志坚
;
董业民
;
陈猛
;
王曦
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提交时间:2012/01/06
微电子机械系统
微桥
低压化学气相淀积
氮化硅
弹性模量
残余应力
弯曲强度