机构

• 电子学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2018 [1]
• 2015 [1]
• 2013 [1]

学科主题

• 传感器 [3]
• Sensor [1]
• Vacuum [1]
• 真空电子技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 改善硅谐振压力传感器温度特性的方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2018 -   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2018/06/04 硅谐振压力传感器  热应力有限元分析  低应力组装  应力隔离结构   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿   谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 张健 收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2013/06/07 谐振式MEMS压力传感器  真空封装  低应力组装  闭环电路  传感器仪表