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浏览/检索结果: 共10条,第1-10条 帮助

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偏振色差对自适应光学系统校正能力的影响 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2020, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 36-43
作者:  
徐百威[1,2,3];  胡诗杰[1,3];  李杰[3];  樊俊琪[1,3];  谭毅[1,3]
  |  收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2021/05/11
无遮拦离轴天文望远镜偏振像差分析及其对光学椭率的影响 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 08, 页码: 55-64
作者:  
罗敬;  何煦;  范阔;  张晓辉;  董吉洪
  |  收藏  |  浏览/下载:62/0  |  提交时间:2021/07/06
NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化 期刊论文  OAI收割
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:  
李杰[1,2];  林妩媚[1];  廖志杰[1]
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2021/05/06
投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  
周泽龙
  |  收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2019/09/23
相干激光通信光学系统偏振像差研究 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 47-54
作者:  
杨宇飞;  颜昌翔;  胡春晖;  吴从均
收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2017/09/17
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  
沈丽娜
收藏  |  浏览/下载:204/0  |  提交时间:2016/11/28
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  
尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2016/07/06
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging 期刊论文  OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 2061-2063
Tu YY(涂远莹); Wang XC(王向朝); Li SK(李思坤); Cao YT(曹宇婷)
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2013/09/09
光学系统中偏振光的传输特性研究 学位论文  OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
杨帆
收藏  |  浏览/下载:153/0  |  提交时间:2013/11/19
光学系统的偏振像差研究 期刊论文  OAI收割
光学技术, 2003, 期号: 05, 页码: 555-558+561
作者:  
高劲松
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2013/03/11