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长春光学精密机械与物... [5]
光电技术研究所 [3]
上海光学精密机械研究... [2]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [3]
发表日期
2020 [2]
2019 [1]
2018 [1]
2016 [2]
2015 [1]
2012 [1]
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偏振色差对自适应光学系统校正能力的影响
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2020, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 36-43
作者:
徐百威[1,2,3]
;
胡诗杰[1,3]
;
李杰[3]
;
樊俊琪[1,3]
;
谭毅[1,3]
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提交时间:2021/05/11
[3562973]自适应光学
波前探测
偏振像差
[6241332]光学薄膜
[2997553]奇异值分解
无遮拦离轴天文望远镜偏振像差分析及其对光学椭率的影响
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 08, 页码: 55-64
作者:
罗敬
;
何煦
;
范阔
;
张晓辉
;
董吉洪
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2021/07/06
成像系统
无遮拦离轴天文望远镜
偏振像差
光学椭率
点扩展函数
弱引力透镜效应
NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
期刊论文
OAI收割
应用光学, 2019, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 575-582
作者:
李杰[1,2]
;
林妩媚[1]
;
廖志杰[1]
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2021/05/06
光学设计
偏振像差
薄膜光学
Jones光瞳
成像对比度
投影光刻物镜偏振像差研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
周泽龙
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2019/09/23
投影光刻物镜
偏振像差
琼斯矩阵
穆勒矩阵
相干激光通信光学系统偏振像差研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 47-54
作者:
杨宇飞
;
颜昌翔
;
胡春晖
;
吴从均
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2017/09/17
光通信
相干通信
偏振像差
三维偏振光线追迹
保偏
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
收藏
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提交时间:2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:
尚红波
;
刘春来
;
张巍
;
陈华男
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提交时间:2016/07/06
光学制造
投影光刻物镜
膜系
偏振像差
对比度
Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging
期刊论文
OAI收割
optics letters, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 2061-2063
Tu YY(涂远莹)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Cao YT(曹宇婷)
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提交时间:2013/09/09
光刻
偏振像差
光学系统中偏振光的传输特性研究
学位论文
OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
杨帆
收藏
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浏览/下载:153/0
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提交时间:2013/11/19
偏振分析:偏振像差:反射式光学系统:薄膜
光学系统的偏振像差研究
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2003, 期号: 05, 页码: 555-558+561
作者:
高劲松
收藏
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提交时间:2013/03/11
偏振像差
偏振光线追迹
琼斯矩阵
光学薄膜