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基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  
杨朝兴
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Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  
胡永璐
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基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  
闫观勇;  李思坤;  王向朝
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  
李兆泽;  李思坤;  王向朝
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基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  
闫观勇;  李思坤;  王向朝
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  
李兆泽;  李思坤;  王向朝
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  
李兆泽;  李思坤;  王向朝
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基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  
闫观勇;  李思坤;  王向朝
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极紫外光刻离轴照明技术研究 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:  
金春水;  王丽萍
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大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究 期刊论文  OAI收割
应用光学, 2011, 期号: 5
作者:  
吴东岷
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