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采集方式
OAI收割 [19]
内容类型
期刊论文 [15]
学位论文 [4]
发表日期
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2012 [1]
2011 [1]
2005 [2]
2004 [1]
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学科主题
光学工程 [1]
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基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
杨朝兴
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Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
胡永璐
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
收藏
  |  
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
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极紫外光刻离轴照明技术研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 147-152
作者:
金春水
;
王丽萍
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大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究
期刊论文
OAI收割
应用光学, 2011, 期号: 5
作者:
吴东岷
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