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• 期刊论文 [9]
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发表日期

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学科主题

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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2019, 卷号: 043 作者:  何立文;  罗乐;  孟钢;  邵景珍;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2020/10/26 激光技术  光学制造  新型光刻技术  无掩模光刻  掩模光刻  微纳结构   自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  江海波 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2015/07/30 光学光刻  计算光刻  光刻仿真  分辨力增强技术  照明模式  光源掩模优化（SMO）   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2016/11/25 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于锁定放大原理的投影光刻检焦技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 谢飞 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2014/12/11 光学投影光刻  焦深  检焦技术  离焦量  锁定放大法   一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872 王伟; 周常河 收藏  |  浏览/下载：1059/181  |  提交时间：2010/05/14 光学制造  微透镜阵列  光刻胶热熔法  软刻蚀  压印技术  optical fabrication  microlens array  thermal reflow  soft lithography  imprint technology   任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 董小春 收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2013/11/19 微光学  不规则面形  微光刻技术  曝光阈值  掩模移动滤波   微纳结构光子筛衍射成像技术 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008 程冠晓 收藏  |  浏览/下载：86/0  |  提交时间：2013/11/19 衍射光学  光学设计  消色差  光瞳切趾  光子筛  光刻技术   微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用 期刊论文  OAI收割 物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 47-50 作者:  刘明;  陈宝钦;  谢常青;  王丛舜;  龙世兵   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2010/05/26 纳米加工  纳米器件  微纳加工技术  光学光刻技术