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高衍射效率连续面形分束器的设计与制备
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 7, 页码: 9-16
作者:
刘文静[1,2,3]
;
庞辉[1]
;
曹阿秀[1]
;
吴育娟[1]
;
史立芳[1]
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新型光刻技术研究进展
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:
何立文
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自定义照明模式分辨力增强技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
江海波
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:
李兆泽
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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基于二次规划的光刻机光源优化方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:
闫观勇
;
李思坤
;
王向朝
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点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 03, 页码: 33-39
作者:
于长淞
;
向阳
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