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高衍射效率连续面形分束器的设计与制备 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 7, 页码: 9-16
作者:  刘文静[1,2,3];  庞辉[1];  曹阿秀[1];  吴育娟[1];  史立芳[1]
  |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2021/05/06
新型光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:  何立文;  罗乐;  孟钢;  邵景珍;  方晓东
  |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2020/10/26
自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  江海波
收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2015/07/30
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/25
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2016/11/25
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤
收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2016/11/28
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/11/28
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/11/28
点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2013, 期号: 03, 页码: 33-39
作者:  于长淞;  向阳
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2014/03/07