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	光刻机照明均匀化技术的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者: 肖艳芬收藏 \| 浏览/下载：419/0 \| 提交时间：2016/11/28 光刻机照明系统微透镜阵列光束均匀化均匀性检测
	利用双折射透镜组实现激光束空间整形期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 1698, 1704 杨向通; 范薇收藏 \| 浏览/下载：1089/278 \| 提交时间：2009/09/18 激光光学光束整形均匀化输出双折射透镜填充因子
	准直激光束高斯光强分布的均匀化期刊论文 OAI收割应用激光, 1983, 期号: 06, 页码: 14-16 韩昌元; 村田和美收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2013/03/11 光强分布:6632 全息片:4150 均匀化:3375 准直激光束:2410 计算全息:2297 衍射效率:1974 高斯光束:1886 扩束器:1831 均匀分布:1786 入射光束:1513