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浏览/检索结果: 共21条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者:  张璐   |  收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2020/08/24 光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测   光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180 作者:  张璐;  向阳   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2019/09/17 测量  光刻镜头  绝对检测  光栅横向剪切干涉仪  系统波像差   基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31 作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17 衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差   扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2018/04/09 测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪   绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文  OAI收割 机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96 作者:  郑黎明 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/07/06 绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正   大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2016/07/06 光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统   动态干涉仪的位相光栅衍射效率研究 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2015, 卷号: 044 作者:  李金鹏;  陈磊;  方波;  朱文华   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2020/11/25 光学干涉测量  动态干涉仪  位相光栅  衍射效率   光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文  OAI收割 长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638 张成山; 孟庆孔 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2015/04/17 光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹   第三代同步辐射光源X射线相干性测量研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2014, 期号: 10, 页码: 126-134 作者:  肖体乔 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/03/13 X射线光学  相干长度  光栅干涉仪  同步辐射   基于X射线光栅成像的多衬度显微计算层析系统 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2013, 期号: 10, 页码: 319-326 作者:  肖体乔 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2014/06/13 成像系统  X射线光学  微分相位衬度成像  光栅干涉仪  暗场成像  同步辐射