机构

• 上海光学精密机械研究... [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2014 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  宋强 收藏  |  浏览/下载：346/0  |  提交时间：2016/11/28 光学光刻  光瞳整形  光刻仿真  衍射光学元件  轴锥镜  光学检测   光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究 学位论文  OAI收割 作者:  马健   |  收藏  |  浏览/下载：1547/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机  lithography machine  光瞳整形  pupil shaping  变焦系统  zoom system  轴锥镜组  axicon group  光学设计  optical design