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• 长春光学精密机械与物... [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2000 [1]
• 1996 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电子束和接触式曝光机的匹配和混合曝光 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 4，416-419 作者:  刘明;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/25 I－线光致抗蚀剂  电子束 接触式曝光机  混合曝光   运用光蚀刻技术制造金属光栅盘 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 85-90 金轸裕 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 光蚀刻  光化学加工  光致抗蚀剂  金属光栅盘  腐蚀因子