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机构
电子学研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2012 [1]
2007 [1]
学科主题
传感器 [1]
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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基于金属中间层键合技术的压阻式绝压传感器气密封装
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
陈继超
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2012/06/09
共晶键合
等温凝固
气密封装
新型硅基薄膜材料转移技术的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
詹达
收藏
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上的硅(SOI)
绝缘层上的锗(GOI)
担酸锂(LiTaO_3)
智能剥离(Smart-cut)
共晶键合