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长春光学精密机械与物... [3]
上海微系统与信息技术... [1]
高能物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2008 [1]
2004 [1]
2003 [1]
2002 [1]
1995 [1]
学科主题
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共5条,第1-5条
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薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2008, 期号: 07
魏星
;
王湘
;
陈猛
;
陈静
;
张苗
;
王曦
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
准LIGA
微电铸
铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2004, 期号: 01, 页码: 20-23
作者:
梁静秋
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/03/11
铜材料X射线聚焦组合透镜
透镜参数设计
准LIGA制作工艺
双转子平面微电机定子制作工艺研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:
王淑荣
;
梁静秋
;
张平
;
吴一辉
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提交时间:2013/03/11
双转子
平面微电机
定子
孔引线
准LIGA技术
质子LIGA工艺的探讨
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2002, 期号: 5, 页码: 34-36
作者:
彭良强
;
徐韬光
;
韩勇
;
伊福廷
;
张菊芳
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提交时间:2015/12/25
微细加工
质子束
准LIGA
准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 64-66
作者:
王飞
;
梁静秋
;
王飞
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提交时间:2013/03/11
微型机械
LIGA工艺
准LIGA工艺
微齿轮