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机构
微电子研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [1]
2003 [1]
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体硅CMOS FinFET结构与特性研究
期刊论文
OAI收割
电子学报, 2005, 卷号: 33, 期号: 8, 页码: 3,1484-1486
作者:
徐秋霞
;
殷华湘
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提交时间:2010/05/26
鱼脊形场效应晶体管
体硅
凹槽器件
新结构
Cmos
体硅衬底上的CMOS FinFET
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 6,351-356
作者:
殷华湘
;
徐秋霞
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提交时间:2010/05/25
Finfet
凹槽
器件特性 Cmos
体硅
场效应器件