机构

• 上海光学精密机械研究... [5]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 高能物理研究所 [1]
• 自动化研究所 [1]
• 西安光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [10]

内容类型

• 学位论文 [5]
• 期刊论文 [4]
• 项目 [1]

发表日期

• 2019 [1]
• 2016 [1]
• 2014 [3]
• 2009 [3]
• 2005 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 定量相位显微中分辨率增强技术综述 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 6 作者:  郜鹏;  温凯;  孙雪莹;  姚保利;  郑娟娟   |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2019/09/20 相位成像  分辨率增强  调制照明  合成孔径  亚像元技术   基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻  分辨率增强技术  光源掩模优化  遗传算法   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2016/11/25 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002 作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/28 光学制造  光刻  光源与掩模联合优化  分辨率增强技术  工艺窗口   超深亚微米工艺条件下基于模型的光学邻近效应修正方法的研究 学位论文  OAI收割 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 朱亮 收藏  |  浏览/下载：149/0  |  提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术  光学邻近效应修正  可制造性设计  亚分辨率辅助图形  光学和工艺邻近效应修正   VLSI版图互连优化和光学工艺校正算法研究 学位论文  OAI收割 工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2009 作者:  马鸿 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2015/09/02 物理综合  缓冲优化  信号完整性  分辨率增强技术  光学和工艺校正  physical synthesis  buffering optimization  signal integrity  resolution enhancement technique  optical and process correction   超深亚微米工艺条件下基于模型的光学临近效应修正方法的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 朱亮 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术  　光学邻近效应修正  　可制造性设计  　亚分辨率辅助图形  　光学和工艺邻近效应修正　   衍射增强成像技术及其医学应用的物理问题研究 项目  OAI收割 2005-2007 作者:  姜晓明 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/07/09 同步辐射医学应用  衍射增强成像技术  空间分辨率  衬度分辨率   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文  OAI收割 作者:  王磊   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization