中国科学院机构知识库网格系统: 检索

机构

采集方式

内容类型

发表日期

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条

帮助

条数/页：排序方式：
	接近式光刻刻划间隙的确定期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 81-84+97 付永启收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2013/03/11 刻划间隙:7286 接近式光刻:5937 刻线质量:2182 线密度:1418 光强度分布:1194 菲涅耳衍射:1113 掩模板:949 衍射效应:715 泰伯效应:634 定量分析:622
	接近式光刻中刻划间隙对刻线质量的影响分析期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 112-116 付永启; 朱应时收藏 \| 浏览/下载：5/0 \| 提交时间：2013/03/11 接近式光刻刻划间隙刻线质量
	极小刻划间隙下的衍射光强度变化规律分析期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1996, 期号: 03, 页码: 91-94 付永启; 赵兴国收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2013/03/11 极小刻划间隙衍射相对光强度