机构

• 长春光学精密机械与物... [2]

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• OAI收割 [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1997 [1]
• 1996 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 接近式光刻刻划间隙的确定 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 81-84+97 付永启 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 刻划间隙:7286  接近式光刻:5937  刻线质量:2182  线密度:1418  光强度分布:1194  菲涅耳衍射:1113  掩模板:949  衍射效应:715  泰伯效应:634  定量分析:622   接近式光刻中刻划间隙对刻线质量的影响分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1996, 期号: 05, 页码: 112-116 付永启; 朱应时 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2013/03/11 接近式光刻  刻划间隙  刻线质量