机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 沈阳自动化研究所 [1]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2011 [1]
• 2003 [2]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造业  光刻过程  RtR控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模   157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2003, 期号: 06, 页码: 34-36 臧春雨; 曹望和; 石春山 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/03/11 半导体制造业  157nm紫外光刻技术  CaF_2晶体  双折射   157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2003, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: 34-36 臧春雨; 曹望和; 石春山 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2010/09/13 半导体制造业  157nm紫外光刻技术  CaF_2晶体  双折射