机构

• 微电子研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1999 [1]
• 1998 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 统计过程控制技术在半导体生产中的应用 期刊论文  OAI收割 电子标准化与质量, 1999, 期号: 3, 页码: 4,15_18 作者:  黄晓兰   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/05/25 统计过程控制  半导体制造工艺  质量管理  控制图   KrF准分子激光移相光刻在HEMT栅加工中的应用 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 1998, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 7，94-100 作者:  钱鹤;  刘训春   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/25 移相光刻  深亚微米  Hemt  半导体制造工艺