机构

• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2009 [1]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01 毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  扫描微镜  约束扭转  单晶硅直梁  横向弯矩  扭转力矩   基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2007, 卷号: 1, 期号: 总第144, 页码: 4,15_18 作者:  舞玉鹏;  叶甜春;  陈大鹏;  欧毅;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/05/26 射频微机械开关  单晶硅梁  静电驱动