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机构
上海应用物理研究所 [1]
高能物理研究所 [1]
近代物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2005 [1]
1990 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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铝镁尖晶石中He离子注入引起损伤的退火行为研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2008, 卷号: 2008, 期号: 08, 页码: 5165-5169
杨义涛
;
张崇宏
;
周丽宏
;
李炳生
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/10/29
离子注入
He
尖晶石
卢瑟福沟道背散射
SiGe/Si(100)外延薄膜材料的应变表征研究
期刊论文
OAI收割
核技术, 2005, 期号: 04
陈长春,余本海,刘江峰,曹建清,朱德彰
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/07/04
应变
硅锗
卢瑟福背散射/沟道效应
高分辨率X射线衍射
拉曼谱
离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 1990, 期号: 11, 页码: 866-870
作者:
肖光明
;
殷士端
;
张敬平
;
范缇文
;
刘家瑞
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2015/12/25
离子注入
瞬态退火
卢瑟福背散射沟道