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浏览/检索结果: 共18条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种步进式压电陶瓷驱动器负载模型研究 期刊论文  OAI收割 现代电子技术, 2020, 卷号: 43, 期号: 02, 页码: 14-16+19 作者:  王学亮;  彭吉;  徐立松;  李朋志;  陈雪   |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2021/07/06 压电陶瓷  步进式驱动器  定位控制  负载实验  多项式拟合  数据分析   压电驱动纳米定位平台的设计与智能预测控制方法研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者:  王昂   |  收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2018/06/11 压电驱动纳米定位平台  压电陶瓷执行器  粘滞-滑动执行器  迟滞非线性  智能预测控制   非共振式压电直线电机精密驱动及定位控制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2139-2148 作者:  曹小涛;  李德全;  李洪文;  林冠宇;  杨维帆   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/04/09 非共振式压电陶瓷  迟滞逆模型  大行程高精度定位控制  Fpga  复合控制模型   基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文  OAI收割 实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57 陈琦; 钟君 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2015/04/17 压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪   基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文  OAI收割 应用科技, 2014, 期号: 6 陈琦 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/04/17 纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器   应变式微型精密压电驱动器的一体化设计及其PID控制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 709-716 作者:  王耿;  官春林;  张小军;  周虹;  饶长辉 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/15 压电陶瓷  压电驱动器  迟滞  应变反馈  PID控制  定位精度   用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 舒强 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2014/12/11 波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位   模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用 期刊论文  OAI收割 光学技术, 2012, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 202-207 作者:  舒强;  施宁平;  饶学军 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/15 压电驱动器  纳米定位  精密对准  模糊控制   压电陶瓷微动台的复合控制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1265-1271 作者:  王俐;  饶长辉;  饶学军 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/15 压电陶瓷  迟滞特性  改进的PI迟滞模型  前馈控制  动态定位精度   一维压电式微定位机构的设计研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2006, 期号: 3 孙宝玉; 刘虹; 梁淑卿 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/09/25 微定位机构  压电陶瓷  柔性铰链  数字闭环控制