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一种应用平面约束的直角坐标机器人标定方法
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2019, 期号: 3, 页码: 45-48
作者:
刘玉
;
隋春平
;
张洪瑶
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提交时间:2019/03/30
直角坐标机器人
运动学标定
DH参数法
平面约束
参数辨识
串级萃取直角坐标机器人运动学标定问题研究
学位论文
OAI收割
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2017
作者:
刘玉
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2017/06/29
直角坐标机器人
运动学标定
DH参数法
几何约束
平面约束
基于参数平面的自适应调和纹理映射算法
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2014, 期号: 5, 页码: 818-823
作者:
姚志军
;
周渝人
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2015/04/17
计算机视觉
参数平面
评估函数
约束纹理映射
天文红外焦平面探测器性能参数的测试和评估方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(云南天文台), 2014
作者:
蔡云芳
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提交时间:2016/04/06
红外天文观测
天文红外焦平面探测器
性能参数
测试平台
平面场景和建筑物成像的几何分析
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2011, 期号: 05, 页码: 525-530
张叶
;
曲宏松
;
李桂菊
;
王延杰
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/03/11
平面场景
建筑物
相机参数
几何分析
成像分析
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
一种分析二维平面左手结构的新方法
期刊论文
OAI收割
电子学报, 2007, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2262-2266
李超
;
刘开雨
;
李芳
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提交时间:2010/05/19
二维平面左手结构
S参数
Bloch波数
Bloch阻抗
后向波
CSR外靶实验终端中子流测量的模拟
期刊论文
OAI收割
高能物理与核物理, 2006, 卷号: 2006, 期号: 11, 页码: 1083-1087
付芬
;
肖志刚
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靳根明
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冯兆庆
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提交时间:2010/10/29
Csr
中子流
反应平面
碰撞参数
基于DSP平台技术的水声材料测量实现
学位论文
OAI收割
博士, 中国科学院声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2004
高建玉
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提交时间:2011/05/07
材料声学参数
声管
平面波
脉冲频谱法
传递函数法
关于红外探测器与红外焦平面阵列探测器性能参数描述方法的商榷
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2003, 期号: 03, 页码: 265-269
崔敦杰
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提交时间:2013/03/11
红外探测器
红外焦平面阵列探测器
探测器的性能参数