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浏览/检索结果: 共21条,第1-10条 帮助

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一种应用平面约束的直角坐标机器人标定方法 期刊论文  OAI收割
机械设计与制造, 2019, 期号: 3, 页码: 45-48
作者:  
刘玉;  隋春平;  张洪瑶
  |  收藏  |  浏览/下载:52/0  |  提交时间:2019/03/30
串级萃取直角坐标机器人运动学标定问题研究 学位论文  OAI收割
硕士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2017
作者:  
刘玉
  |  收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2017/06/29
基于参数平面的自适应调和纹理映射算法 期刊论文  OAI收割
液晶与显示, 2014, 期号: 5, 页码: 818-823
作者:  
姚志军;  周渝人
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2015/04/17
天文红外焦平面探测器性能参数的测试和评估方法研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(云南天文台), 2014
作者:  
蔡云芳
收藏  |  浏览/下载:154/0  |  提交时间:2016/04/06
平面场景和建筑物成像的几何分析 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2011, 期号: 05, 页码: 525-530
张叶; 曲宏松; 李桂菊; 王延杰
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2013/03/11
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
一种分析二维平面左手结构的新方法 期刊论文  OAI收割
电子学报, 2007, 卷号: 35, 期号: 12, 页码: 2262-2266
李超; 刘开雨; 李芳
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2010/05/19
CSR外靶实验终端中子流测量的模拟 期刊论文  OAI收割
高能物理与核物理, 2006, 卷号: 2006, 期号: 11, 页码: 1083-1087
付芬; 肖志刚; 靳根明; 冯兆庆
  |  收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/10/29
基于DSP平台技术的水声材料测量实现 学位论文  OAI收割
博士, 中国科学院声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2004
高建玉
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2011/05/07
关于红外探测器与红外焦平面阵列探测器性能参数描述方法的商榷 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2003, 期号: 03, 页码: 265-269
崔敦杰
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2013/03/11