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红外探测材料与器件 [1]
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共18条,第1-10条
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父母反应方式及情绪指导训练对幼儿情绪调节能力的影响
学位论文
OAI收割
中国科学院心理研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:
杨帆
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提交时间:2023/07/03
情绪调节
反应方式
气质类型
情绪指导训练
熔盐实验堆备用停堆方案及其可行性分析
期刊论文
OAI收割
核技术, 2019, 卷号: 42, 期号: 07, 页码: 69-73
作者:
于世和
;
刘亚芬
;
杨璞
;
冀锐敏
;
朱贵凤
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提交时间:2020/10/19
熔盐堆
钍基熔盐堆
停堆方式
反应性
低事件率效应的机制与对策
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
王陵宇
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提交时间:2016/05/09
低事件率效应
模拟 X光安检任务
视觉搜索
反应方式
奖惩措施
压力扰动促进丙烷水合物生长过程的研究
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
李金平
;
王春龙
;
黄娟娟
;
杨文洁
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提交时间:2013/11/28
气体水合物
生成过程
加压方式
生成驱动力
反应速率
创伤后应激反应症状的民族差异——以汶川地震后对羌汉幸存者的访谈分析为例
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
作者:
陈正根
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提交时间:2016/09/12
创伤后应激反应症状
民族差异
资源保存理论
应对方式
中国文化
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
环境化合物与生物大分子的相互作用及其潜在毒性效应
会议论文
OAI收割
中国贵州贵阳, 2009-08-10
作者:
郭良宏
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提交时间:2017/11/13
毒性效应
生物靶分子
多溴联苯醚
生物大分子
全氟
结合反应
嵌入方式
多环芳烃
分子水平研究
Dna
我国部分地区中学生的学校回避倾向研究
学位论文
OAI收割
心理研究所: 中国科学院心理研究所, 2007
作者:
王洪芳
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提交时间:2011/06/23
学校回避倾向
压力源
压力反应
社会支持
应对方式
渐进网格中真实选择细化技术的探讨
期刊论文
OAI收割
计算机工程与设计, 2007, 卷号: 28, 期号: 10, 页码: 2376-2378
杨劲松
;
苏鸿根
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提交时间:2011/07/01
3D模型
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D型人格与冠心病患者身心健康的关系
学位论文
OAI收割
心理研究所: 中国科学院心理研究所, 2006
作者:
于肖楠
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提交时间:2011/06/23
D型人格
冠心病
主观幸福感
疾病应对方式
心血管反应