机构

• 上海微系统与信息技... [14]
• 金属研究所 [2]
• 电子学研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [19]

内容类型

• 期刊论文 [12]
• 学位论文 [5]
• 会议论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2010 [3]
• 2009 [1]
• 2007 [6]
• 2005 [2]
• 2003 [5]
• 更多

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共19条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 三维掩膜硅各向异性腐蚀工艺释放微悬空结构 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2011, 期号: 05 黄占喜; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/04/13 微悬空结构释放  体硅工艺  三维掩膜  各向异性腐蚀  腐蚀模拟   基于多分辨率信号分解的低轨通信卫星频谱感知 期刊论文  OAI收割 电子与信息学报, 2010, 期号: 09 马陆; 李理敏; 胡泽鑫; 梁旭文 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  低功耗  微型加热器  铂  各向异性腐蚀   气体探测用低功耗微型加热器研究 会议论文  OAI收割 中国兵工学会第十五届测试技术学术年会, 2010 许磊; 李铁; 高秀丽; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS  低功耗  微型加热器  铂  各向异性腐蚀   石墨/LiCoO_2电池充放电过程电极活性材料结构演变研究 期刊论文  OAI收割 化学学报, 2010, 期号: 07 李佳; 杨传铮; 张建; 张熙贵; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 纳米梁  各向异性腐蚀  FIB   柠檬酸协助的Y_2O_3包覆LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2材料性能研究 期刊论文  OAI收割 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 刘浩涵; 张建; 张熙贵; 谢晓华; 李佳; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2012/01/06 KOH腐蚀  各向异性  表面粗糙度   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  纳米梁  各向异性腐蚀  硅  纳米谐振器   铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2007, 期号: 02 车录锋; 卢云; 徐志农 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 微加速度计  微机械加工  各向异性腐蚀   基于硅塑性变形的自对准垂直梳齿驱动器的制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 池积光   收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/06 梳齿驱动  垂直驱动  塑性变形  自对准  KOH各向异性腐蚀     “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀