机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2008 [1]
• 1994 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电化学方法制备Si阵列微孔的工艺研究 期刊论文  OAI收割 原子核物理评论, 2008, 卷号: 2008, 期号: 03, 页码: 277-281 薛智浩; 孙友梅; 常海龙; 刘杰; 侯明东; 姚会军; 莫丹; 陈艳峰   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/10/29 各向异性蚀刻  微孔阵列  电化学蚀刻   SF_6／CCl_2F_2反应离子深刻蚀硅中加O_2的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1994, 期号: 04 姜建东; 孙承龙; 王渭源; 王德宁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 反应离子刻蚀  各向异性深刻蚀硅  聚合物掩蔽膜  蚀刻速率  蚀刻形貌