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• 上海微系统与信息技术... [6]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2012 [3]
• 2011 [2]
• 2010 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 翟雷应 收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS  Fabry-Perot腔可调滤波器  光纤相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器   基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文  OAI收割 光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291 刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2013/02/22 可调光衰减器(VOA)  微光机电系统(MEMS)  微镜  垂直梳齿驱动器   无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS)  光相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器  平动微镜  保角变换法  静电驱动   基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 03 肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/04/13 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器   基于Si塑性变形的二维驱动器的设计 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 08 陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 二维驱动器  塑性变形  绝缘填充槽  梳齿驱动  垂直位错   基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 肖育华 收藏  |  浏览/下载：129/0  |  提交时间：2012/03/06 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器