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机构
高能物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2003 [1]
1993 [1]
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共2条,第1-2条
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BSRF上的微细塑铸研究
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 145-146
作者:
韩勇
;
彭良强
;
陈迪
;
伊福廷
;
张菊芳
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提交时间:2015/12/25
LIGA
塑铸
X射线
微细加工新技术—LIGA技术
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1993, 期号: 4, 页码: 1--7
作者:
伊福廷
;
吴坚武
;
冼鼎昌
收藏
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提交时间:2015/12/07
同步辐射曝光
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