机构

• 长春光学精密机械与物... [3]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2013 [1]
• 2007 [1]
• 1999 [2]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372 作者:  卢启鹏;  龚学鹏;  彭忠琦 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/03/07 光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子   极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件(英文) 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2007, 期号: 12, 页码: 1886-1893 作者:  朱京涛;  王占山;  王洪昌;  张众;  王风丽 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2015/12/25 偏振光学元件  多层膜  相移片  检偏器  极紫外  同步辐射   X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133 王占山; 马月英; 吕俊霞; 高宏刚; 刘毅楠; 裴舒; 曹健林; 徐向东; 洪义麟; 付绍军 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2013/03/11 X射线布拉格－菲涅耳光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀   用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71 王占山; 马月英; 吕俊霞; 高宏刚; 刘毅楠; 裴舒; 曹健林; 徐向东; 洪义麟; 付绍军 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线Bragg-Fresnel光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀