机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]
• 2008 [1]

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 03 黄占喜; 吴亚明; 李四华 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  光刻  多掩膜  体硅工艺   多腔结构阶跃式红外集成滤光片的研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2008 作者:  段微波   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/08/22 光谱阶跃式集成滤光片  多腔结构  光学特性  真空镀膜  掩膜刻蚀