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TiN/TiSi2薄膜制备及其在集成电路中应用 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 1995
朱培青
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2μm高速双极工艺的研究 期刊论文  OAI收割
微电子学, 1994, 期号: 04
杨华丽; 陈学良; 何晓阳; 肖德元
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