机构

• 金属研究所 [1]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1982 [1]
• 1980 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用CVD和高温退火技术制备大晶粒多晶硅薄膜 期刊论文  OAI收割 太阳能学报, 1982, 卷号: 3, 期号: 4, 页码: 460-463 韩桂林; 王岚; 刘连元; 刘雅言 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/06/15 多晶硅层  高温退火  大晶粒  多晶硅薄膜  多晶硅膜   热解石墨涂层用做外延基座材料 期刊论文  OAI收割 仪器制造, 1980, 期号: 1, 页码: 16-21+54 赵凤鸣 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/04/12 石墨涂层:5433  热解石墨:4474  硅基座:3301  碳化硅:2703  高纯石墨:2560  玻璃碳:2460  涂层厚度:2405  硅外延层:2321  多晶硅:2238  工艺参数选择:1856