机构

• 微电子研究所 [1]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2009 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 期刊论文  OAI收割 电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25 作者:  伊福廷;  李勇;  刘改红 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/25 电火花电极  异形阵列电极  大高宽比金属结构  LIGA技术   带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2009, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 5，30-34 作者:  吴璇;  李海亮;  朱效立;  叶甜春;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2010/06/01 大高宽比  X射线波带片  X射线光刻  衍射效率