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• 上海微系统与信息技术... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [2]
• 2007 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06 UV-LIGA  电镀  厚胶工艺  射频无源器件  微机械探卡   片上集成MEMS射频无源器件研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 吴争争 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2012/03/06 射频微机电系统  　射频无源器件  　射频滤波器  　巴伦  　射频集成电路　   高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 顾磊   收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  射频无源器件  电感  互感  可变电容  X-Y两维微移动平台