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光电技术研究所 [2]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2013 [1]
2012 [1]
2004 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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射频功率对类金刚石薄膜性能的影响
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2013, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 1375-1378
作者:
陈林林
;
张殷华
;
黄伟
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/21
射频功率
射频等离子体化学气相沉积
类金刚石薄膜
Raman光谱
射频功率对类金刚石薄膜性能的影响
会议论文
OAI收割
第十届全国光电技术学术交流会论文集, 2012
作者:
陈林林
;
张殷华
;
黄伟
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/25
射频等离子体化学气相沉积
类金刚石薄膜
射频功率
Raman光谱
基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2004, 期号: 1, 页码: 82-85
蔺增,巴德纯,王志,闻立时
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提交时间:2012/04/12
类金刚石薄膜
不锈钢
射频等离子体增强化学气相沉积
摩擦
磨损