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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

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• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2010 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究 期刊论文  OAI收割 测试技术学报, 2010, 期号: 05 高安然; 李铁; 刘翔; 焦继伟; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS陀螺  深反应离子刻蚀  非对称结构  局域掩膜效应  模态失配   微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 冷悦 收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  微机械陀螺  深反应离子刻蚀  局域掩膜效应  热模型