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机构
微电子研究所 [1]
上海应用物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [1]
2005 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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具有应变沟道及EOT 1.2nm高性能栅长22nm CMOS器件
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 283-290
作者:
陈宝钦
;
徐秋霞
;
钱鹤
;
段晓峰
;
刘海华
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提交时间:2010/05/26
应变硅沟道
SiGe/Si(100)外延薄膜材料的应变表征研究
期刊论文
OAI收割
核技术, 2005, 期号: 04
陈长春,余本海,刘江峰,曹建清,朱德彰
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提交时间:2012/07/04
应变
硅锗
卢瑟福背散射/沟道效应
高分辨率X射线衍射
拉曼谱