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具有应变沟道及EOT 1.2nm高性能栅长22nm CMOS器件 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 283-290
作者:  
陈宝钦;  徐秋霞;  钱鹤;  段晓峰;  刘海华
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SiGe/Si(100)外延薄膜材料的应变表征研究 期刊论文  OAI收割
核技术, 2005, 期号: 04
陈长春,余本海,刘江峰,曹建清,朱德彰
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