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• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2008 [1]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于USB2.0和CPLD的双面光刻机底面对准与控制系统 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008 邓玖根 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2013/11/19 USB  CPLD  双面光刻机  底面对准  控制   用于MEMS加工的双面深度光刻机底面对准系统及其控制系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2003 马平 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2013/11/19 双面光刻  底面对准  图像处理  步进电机  电磁阀