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	新型光刻技术研究进展期刊论文 OAI收割激光技术, 2019, 卷号: 043 作者: 何立文; 罗乐; 孟钢; 邵景珍; 方晓东 \| 收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2020/10/26 激光技术光学制造新型光刻技术无掩模光刻掩模光刻微纳结构
	一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术期刊论文 OAI收割中国激光, 2009, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 2869-2872 王伟; 周常河收藏 \| 浏览/下载：1059/181 \| 提交时间：2010/05/14 光学制造微透镜阵列光刻胶热熔法软刻蚀压印技术 optical fabrication microlens array thermal reflow soft lithography imprint technology
	偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26 作者: 王淑荣; 吴一辉; 张平收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2013/03/11 (111)硅片闪耀光栅体硅技术微制造 MEMS 湿法腐蚀
	MEMS和微流体分析系统的发展期刊论文 OAI收割光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31 作者: 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2013/03/11 MEMS技术:6304 微型全分析系统:4765 微流体:4334 压力传感器:2159 分析仪器:1871 加速度计:1775 流体分析:1530 微制造技术:1371 微小化:1291 仪器仪表:1244
	微型光谱仪的发展期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37 作者: 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2013/03/11 微型光谱仪微机电系统微光学微制造技术
	微光机电系统国内外研究进展期刊论文 OAI收割光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5 作者: 梁静秋收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2013/03/11 微光机电系统:9087 涡轮喷气发动机:2324 国内外研究:1475 微型机电系统:1430 微机器人:1346 微结构:1222 微加速度计:1182 微制造技术:1089 微驱动器:986 微机械:962
	用微移动机器人群进行超精密加工与测量的现状和发展期刊论文 OAI收割机器人, 2000, 卷号: 22, 期号: S, 页码: 902-904 作者: 原培章; 王忠; 李小凡 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2010/11/29 超精密加工微移动机器人先进制造技术
	X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究期刊论文 OAI收割微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 47-52 作者: 梁静秋; 李春收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2013/03/11 Bragg－Fresnel元件衍射图形微制造技术