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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2009 [1]
2006 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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纳米尺度图形化衬底的制备及其在HVPE生长GaN中的应用
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
王新中
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提交时间:2012/03/06
氮化镓
氢化物气相外延
阳极氧化铝
纳米尺寸微区掩膜
氢化物气相外延生长GaN材料及其物性分析
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
雷本亮
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浏览/下载:71/0
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提交时间:2012/03/06
氮化镓
氢化物气相外延
成核
插入层
微区掩膜