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学科主题

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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 扭转谐振式共面电极电场传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2018 -   |  收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2018/06/02 微型电场传感器  扭转谐振  共面电极  响应特性  MEMS   压电驱动梁式微型电场传感器 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014 冯可 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2015/01/22 电场传感器  微型梁  压电驱动  压电薄膜  振动   谐振式微型电场传感器制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 刘伟 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/06/09 谐振式  绝缘体上硅  微型电场传感器  聚酰亚胺  深度反应离子刻蚀   谐振式微型电场传感器闭环接口电路研究 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 熊幼芽 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2011/07/19 微型电场传感器  闭环自激驱动  自动增益控制   一种热驱动微型电场传感器设计与仿真 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 287-288 叶超; 龚超; 陈贤祥; 彭春荣; 陈绍凤; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/19 热驱动  微型  电场传感器  仿真   热驱动微型电场传感器 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 161-163 陈贤祥; 彭春荣; 白强; 陈绍凤; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/19 微型电场传感器  热驱动  有限元模拟  微细加工   静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 171-173 彭春荣; 龚超; 陈贤祥; 陶虎; 白强; 罗蕾; 夏善红 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/19 微型电场传感器  相关检测  差分检测  静电梳齿激励   基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 388-390 裴强; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/19 微电子机械系统  微型  电场传感器