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	扭转谐振式共面电极电场传感器研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院大学, 2018 - \| 收藏 \| 浏览/下载：56/0 \| 提交时间：2018/06/02 微型电场传感器扭转谐振共面电极响应特性 MEMS
	压电驱动梁式微型电场传感器学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014 冯可收藏 \| 浏览/下载：53/0 \| 提交时间：2015/01/22 电场传感器微型梁压电驱动压电薄膜振动
	谐振式微型电场传感器制作工艺研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 刘伟收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2013/06/09 谐振式绝缘体上硅微型电场传感器聚酰亚胺深度反应离子刻蚀
	谐振式微型电场传感器闭环接口电路研究学位论文 OAI收割硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 熊幼芽收藏 \| 浏览/下载：62/0 \| 提交时间：2011/07/19 微型电场传感器闭环自激驱动自动增益控制
	一种热驱动微型电场传感器设计与仿真期刊论文 OAI收割中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 287-288 叶超; 龚超; 陈贤祥; 彭春荣; 陈绍凤; 夏善红收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2010/05/19 热驱动微型电场传感器仿真
	热驱动微型电场传感器期刊论文 OAI收割中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 161-163 陈贤祥; 彭春荣; 白强; 陈绍凤; 夏善红收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2010/05/19 微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工
	静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器期刊论文 OAI收割中国机械工程, 2005, 卷号: 16, 期号: z1, 页码: 171-173 彭春荣; 龚超; 陈贤祥; 陶虎; 白强; 罗蕾; 夏善红收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2010/05/19 微型电场传感器相关检测差分检测静电梳齿激励
	基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 388-390 裴强; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2010/05/19 微电子机械系统微型电场传感器