机构

• 电子学研究所 [2]
• 上海微系统与信息技术... [2]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2008 [1]
• 2006 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于微热板表面离子化源的离子迁移率谱仪研究 期刊论文  OAI收割 分析化学, 2008, 卷号: 36, 期号: 11, 页码: 1597-1600 郭会勇; 何秀丽; 贾建; 高晓光; 李建平 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/05/19 离子迁移率谱仪  表面离化  微机电系统工艺  三乙胺   一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/09/02 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统   锂离子蓄电池高容量含硅负极材料研究进展 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2004, 期号: 11 文钟晟; 王可; 解晶莹; 杨军 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  加速度传感器  自检功能  静电驱动  侧壁扩散  绝缘工艺   质子注入MBE碲镉汞n-on-p结性能研究 期刊论文  OAI收割 物理学报, 2003, 期号: 06 陈贵宾; 李志锋; 蔡炜颖; 何力; 胡晓宁; 陆卫; 沈学础 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  体硅工艺  侧壁扩散  绝缘工艺  加速度传感器