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• 上海微系统与信息技术... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 单季戊四醇与双季戊四醇的分离工艺 期刊论文  OAI收割 华东理工大学学报, 2003, 期号: 01 李春香; 王幸宜; 胡广侠 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/06 加速度传感器  微梁直拉直压  结构优化  设计规则   一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 黄树森; 李昕欣; 戈肖鸿; 解健芳; 陈士清; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/18 微梁直拉直压 压阻 加速度传感器 有限元模拟 深反应离子刻蚀(DRIE)   一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 黄树森   收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械技术  压阻式加速度传感器  微梁直拉直压  灵敏度  谐振频率