机构

• 电子学研究所 [4]
• 上海微系统与信息技术... [2]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2007 [1]
• 2003 [2]
• 2002 [3]

学科主题

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 SiO_2/Si上直流磁控反应溅射制备AlN薄膜 期刊论文  OAI收割 材料科学与工程学报, 2007, 期号: 01 范克彬; 沈伟东; 王立春; 熊斌 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/06 原子力显微镜  微纳结构  硬件  软件  悬臂梁  力学测试   单季戊四醇与双季戊四醇的分离工艺 期刊论文  OAI收割 华东理工大学学报, 2003, 期号: 01 李春香; 王幸宜; 胡广侠 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/01/06 加速度传感器  微梁直拉直压  结构优化  设计规则   微梁结构热偶微波功率传感器的灵敏度分析 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2003, 期号: 3, 页码: 1-3 者文明，崔大付，陈德勇 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/09/02 热偶 微梁结构微波功率传感器 MIS结构   微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺 期刊论文  OAI收割 传感器技术, 2002, 卷号: 21, 期号: 11, 页码: 31-33 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/02 热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺   微梁结构热偶微波功率传感器芯处的设计与制作 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 者文明 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2011/07/19 微波功率计  热偶  微梁结构   微梁结构热偶微波功率传感器芯处的设计与制作 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 者文明 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2011/07/19 微波功率计  热偶  微梁结构