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• 上海微系统与信息技术... [3]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [2]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微电子机械器件中槽板结构压膜空气阻尼的计算 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/18 压膜空气阻尼 槽板结构 微电子机械器件 雷诺方程   阶跃和脉冲信号下微机械电容式惯性传感器的可靠工作条件 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 鲍敏杭; 孙远程; 黄宜平; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/18 阶跃响应 微电子机械器件 电容式传感器   板上芯片固化及热处理过程中表面残余应力的演变 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2002, 期号: 08 孙志国; 张群; 黄卫东; 蒋玉齐; 程兆年; 罗乐 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/06 压膜空气阻尼  微电子机械器件  雷诺方程